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        半導體有機廢氣怎么處理?半導體廢氣治理有哪些好辦法?

        2022/5/23 9:43:29 / 作者:廢氣處理設備公司 / 來(lái)源:山藝環(huán)保

        半導體行業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分,在工藝過(guò)程中,這些有機溶劑大部分通過(guò)揮發(fā)成為廢氣排放。其廢氣的主體是VOCs,同時(shí)廢氣中還混合了HCl、氨、HF等危險污染物。半導體有機廢氣怎么處理?半導體廢氣治理有哪些好辦法?下面為您做簡(jiǎn)單介紹:

        半導體有機廢氣怎么處理?半導體廢氣治理有哪些好辦法?

        半導體有機廢氣處理辦法

        采用RTO設備處理

        RTO蓄熱式氧化爐是在高溫下將可燃廢氣氧化成氧化物和水,凈化廢氣,并回收廢氣分解時(shí)所釋放出來(lái)的熱量,廢氣分解效率達到99%以上,熱回收效率達到95%以上。


        直接燃燒法處理

        有機廢氣風(fēng)管廢氣收集→沸石轉輪吸附濃縮→直燃爐(TO)→煙囪排氣達標排放。

        以上就是《半導體有機廢氣怎么處理?半導體廢氣治理有哪些好辦法?》的全部?jì)热荩?span id="1agffdv" class="nolink">山藝環(huán)保專(zhuān)注半導體廢氣處理13年,至今服務(wù)于中芯國際、中芯北方、中芯南方、中芯紹興、集電控股、積塔、有研、華虹、燕東微電子等半導體企業(yè),中芯系覆蓋70%以上,擁有眾多半導體廢氣治理案例!如您有半導體廢氣處理需求,即刻聯(lián)系我們吧!


         

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